真空計(jì)的不同分類

按真空度刻度方法分類 

    (1)真空計(jì)：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測力確定。真空計(jì)對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān)，屬于真空計(jì)的有U型鎊壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。

    (2)相對真空計(jì)：由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力，不能通過簡單的計(jì)算進(jìn)刻度，必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。相對真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計(jì)的種類很多，如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。

按真空計(jì)測量原理分類

    直接測量真空計(jì)

  這種真空計(jì)直接測量單位面積上的力，有:

    (1)靜態(tài)液位真空計(jì)：利用U型管兩端液面差來測量壓力。

    (2)彈性元件真空計(jì)：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。

    間接測量真空計(jì)

  壓力為10-1Pa時(shí)，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計(jì)有：

    (1)壓縮式真空計(jì)：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計(jì)測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測壓力。

    (2)熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。

    (3)熱輻射真空計(jì)：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。

    (4)電離真空計(jì)：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。

    (5)放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。

    (6)粘滯真空計(jì)：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計(jì)和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。

    (7)場致顯微儀：以吸附和解吸時(shí)間與壓力關(guān)系計(jì)算壓力。

    (8)分壓力真空計(jì)：利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜計(jì)等。